6/8/2023 8:51:16 PM
- صفحه اصلی
لایه نشانی
ساختار لایه
ضخامت سنجی
روشهای فیزیکی PVD
اسپاترینگ
روش MBE
تفنگ الکترونی
مقاومتی
روشهای شیمیاییCVD
CVD
MOCVD
PECVD
تمیزکاری نمونه
تمیزکاری چیست؟
آماده سازی داخلی
تمیزکاری شیشه
تمیزکاری ویفر سیلیکون
خلاء
پمپ های خلاء
پمپ روتاری
پمپ کرایوجنیک
پمپ توربومولکولار
پمپ دیفیوژن
فشارسنج خلاء
گیجهای یونی
گیج پیرانی
تاریخچه گیج خلاء
آنالیز
آنالیز پرتو باردار
برهمکنش الکترونی
میکروسکوپ الکترونی
میکروسکوپ TEM
SEM
آنالیز RBS
آنالیز SIMS
آنالیزپرتوایکس
آنالیز XRD
آنالیز XPS
آنالیزپرتو نور
آنالیزSpectrophotometery
آنالیزEllipsometer
میکروسکوپهای روبشی
درباره میکروسکوپهای SPM
میکروسکوپ روبشیAFM
میکروسکوپ روبشیSTM
میکروسکوپ روبشیSNOM
نرم افزارآنالیز
دانلود
فیلم آموزشی
فیلم در یوتیوب
کتاب
سایتهای مرتبط
معرفی کتب
کتب الکترونیکی
دانشگاههای ایران
سایتهای علمی
سمینارها
شرکتهای معتبر
شرکتهای معتبرداخلی
شرکت معتبر خارجی
لایه نشانی
شرکت اپتیکی
شرکت خلاء
ارتباط با ما
نظرات شما
فرم عضویت
ارسال فایل
درباره ما
Atomic Force Microscopy
میکروسکوپ نیروی اتمی AFM
این میکروسکوپ بدلیل استفاده از نیروهای اتمی مانند نیروی واندروالس برای آنالیز سطح به این نام خوانده می شود.
در بیان اهمیت این مد همان بس که یاد آوری کنیم كه بسیاری از افراد میکروسکوپ SPM را فقط با مد AFM می شناسند. AFM پرکاربردترین میکروسکوپ روبشی است. به کمک آن می توان توپوگرافی سطح(تصویر سه بعدی)، زبری سطح، تصویر فاز، تصویر اصطکاک، خواص مغناطیسی، دانه بندی و ضخامت تک لایه را مورد بررسی دقیق قرار داد.
در میکروسکوپ های AFM ، مطابق شكل1، از یک پروب کانتی لیور Cantileverکه یک نوک سوزنی مخصوص و معمولاً از جنس سیلیکن به آن متصل است، برای روبش استفاده می کنند(شکل2). ضمن اینکه نوک سوزنی سطح نمونه را روبش می کند، نیروی بین آنها کنترل می شود. برای ارزیابی حرکت روبشی از یک سازوکار لیزری استفاده می کنند. بدین ترتیب که مطابق شکل یک باریکه لیزر دائماً به کانتی لیور در حال روبش برخورد کرده و پرتو برگشتی که متأثر از حرکت روبشی کانتی لیور است، توسط یک آشکارساز تجزیه و تحلیل می شود. معمولاً برای افزایش راندمان بازتاب، روی کانتی لیور را با لایه ای از طلا یا آلومینیم پوشش می دهند.
شكل1:
قسمت های مختلف دستگاه SPM
شکل2:
شکل واقعی نوک (tip ) کانتی لیور که توسط میکروسکوپ الکترونی بدست آمده است.
به طور کلی میکروسکوپ های AFM به دو صورت کار می کنند:
1- حالت تماسی(استاتیک)
2- حالت غیرتماسی(دینامیک)
لازم به ذکر است که کلمه تماس در دنیای نانو با دنیای میکرو و ماکرو متفاوت است. مشخصاً در دنیای نانو منظور از حالت تماسی، تماس فیزیکی نیست و فاصله چند آنگسترومی به عنوان حالت تماسی شناخته می شود.
1- در حالت تماسی که حالت DCنیز ناميده می شود کانتی لیور در فاصله کمتر از چند آنگستروم از سطح نمونه قرار داده می شود و نیروی بین اتمی بین کانتی لیور و نمونه(که می بایست از نوع نیروی دافعه واندروالس باشد)، در حدود 100-10 نانو نيوتون است.
با ثابت نگه داشتن نیروی بین آنها، کانتی لیور به سمت بالا و پایین حرکت می کند و بدین ترتیب حرکت عمودی کانتی لیور متأثر از پستی و بلندیهای روی سطح، توسط نور برگشتی از کانتی لیور، توسط آشکارساز اندازه گیری می شود. کامپیوتر این حرکت عمودی را به صورت یک تصویر توپوگرافی نشان می دهد. در حالت دیگر فاصله بین نمونه و سطح ثابت نگه داشته می شود و نیروی بین نوک سوزنی و سطح نمونه متغیر است و در نتیجه نقشه نیرو بدست می آید. شكل3، چند نوع از حالت هاي مختلف روبش را نشان مي دهد.
2- در حالت غیرتماسی(که مد AC نيز خوانده می شود) کانتی لیور در فاصله چند ده تا چند صد آنگستروم از سطح نمونه قرار دارد و در این حالت با توجه به فاصله زیاد نوک سوزنی با سطح نمونه، نیروی واندروالس بین کانتی لیور و نمونه از نوع جاذبه است.
این مد برای نمونه های با سطوح بسیار نرم به خوبی جواب می دهد. AFM می تواند علاوه بر توپوگرافی سطح، اصطکاک بین نوک سوزنی و نمونه را اندازه گیری کند. همچنین خواص زبری و الکتریکی سطح نمونه را نیز تعیین می کند.
شکل3:
نحوه تصوير سازي با استفاده از روبش پروبي
در شکل4، دو تصوير مختلف از لايه نقره انباشت شده روي زيرلايه شيشه اي بدست آمده با استفاده از مد AFM در محدوده یک میکرون نشان داده شده است.
شکل4:
تصوير لايه نقره انباشت شده روي زيرلايه شيشه اي در محدوده یک میکرونی
منبع : کتاب مبانی لایه نشانی و آنالیز نانو ساختار تالیف آقای جهانبخش مشایخی، انتشارات مرکز نشر دانشگاهی
فیلم آموزشی در مورد میکروسکوپ روبشیAFM
«
«
فیلمها و مطالب آموزشی
آنالیزهای
سطح و
لایه نازک
برهم کنش بین ذرات باردار
با لا
یه نازک
برهم کنش بین
پرتو ایکس
با
لایه نازک
برهم کنش بین
پرتو نور
با لایه نازک
میکروسکوپ الکترونی
روبشی
SEM
میکروسکوپ الکترونی عبوری
TEM
میکروسکوپ پروبی روبشی
SPM
میکروسکوپ پروبی روبشی
AFM
میکروسکوپ روبشی تونلینگ
STM
آ
نالیز سطح و لایه به روش
SIMS
آ
نالیز
سطح و لایه به روش RBS
آنالیز
سطح و لایه به روش XRD
آنالیز
سطح و لایه به روش XPS
آ
نالیزطیفی به روش بیضی سنجی
آنالیز
طیفی به روش اسپکتروفتومتر
لایه نشانی و پارامترهای آن
ساختار تشکیل لایه
روش
تفنگ الکترونی E_Beam Gun
روش
تبخیر
مقاومتی Resistant Ev
روش
کندوپاش Sputtering
لایه نشانی به روش
لیرزی PLD
لایه نشانی به روش
MBE
لایه نشانی شیمیایی CVD
لایه نشانی شیمیایی
PECVD
لایه نشانی شیمیایی
MOCVD
درباره خلاء
پمپ روتاری Rotary Pump
پمپ توربومولکولارTurbomolecular
پمپ کرایوجنیک Cryojenic Pump
پمپ
دیفیوژن Diffusion Pump
تاریخچه فشارسنج های نخستین
فشارسنجهای محدوده خلاء پایین
فشارسنج یونی
کاتد سرد و گرم
کنترل ضخامت
ضخامت سنجی اپتیکی
ض
خامت سنجی کریستالی
QCM
منبع علمی: کتاب مبانی لایه نشانی و آنالیز نانوساختار تالیف آقای جهانبخش مشایخی کلیه حقوق مادی و معنوی متعلق به Thin film science می باشد.