6/8/2023 6:55:14 PM
- صفحه اصلی
لایه نشانی
ساختار لایه
ضخامت سنجی
روشهای فیزیکی PVD
اسپاترینگ
روش MBE
تفنگ الکترونی
مقاومتی
روشهای شیمیاییCVD
CVD
MOCVD
PECVD
تمیزکاری نمونه
تمیزکاری چیست؟
آماده سازی داخلی
تمیزکاری شیشه
تمیزکاری ویفر سیلیکون
خلاء
پمپ های خلاء
پمپ روتاری
پمپ کرایوجنیک
پمپ توربومولکولار
پمپ دیفیوژن
فشارسنج خلاء
گیجهای یونی
گیج پیرانی
تاریخچه گیج خلاء
آنالیز
آنالیز پرتو باردار
برهمکنش الکترونی
میکروسکوپ الکترونی
میکروسکوپ TEM
SEM
آنالیز RBS
آنالیز SIMS
آنالیزپرتوایکس
آنالیز XRD
آنالیز XPS
آنالیزپرتو نور
آنالیزSpectrophotometery
آنالیزEllipsometer
میکروسکوپهای روبشی
درباره میکروسکوپهای SPM
میکروسکوپ روبشیAFM
میکروسکوپ روبشیSTM
میکروسکوپ روبشیSNOM
نرم افزارآنالیز
دانلود
فیلم آموزشی
فیلم در یوتیوب
کتاب
سایتهای مرتبط
معرفی کتب
کتب الکترونیکی
دانشگاههای ایران
سایتهای علمی
سمینارها
شرکتهای معتبر
شرکتهای معتبرداخلی
شرکت معتبر خارجی
لایه نشانی
شرکت اپتیکی
شرکت خلاء
ارتباط با ما
نظرات شما
فرم عضویت
ارسال فایل
درباره ما
پمپ های تله سرمایی
پمپ های خشک به خاطر عدم استفاده از روغن مزیت های زیادی دارند. پمپ های سرمازا از اولین نوع پمپ های خشک بودند که عملکرد بسیار ساده ای داشتند . به زبان ساده این پمپ ها از تکنیک تله سرمایی استفاده مي كنند. بدین معنی که با ایجاد نواحی سرد که در ادامه مورد بررسی قرار خواهد گرفت، موجب تراکم گازها می شود. برخلاف بسیاری از پمپ ها، گازها از پمپ خارج نمی شوند بلکه داخل یک سطح سرد شده[1] به دام می افتند.
براي ايجاد تله سرمايي از هلیوم مایع و يا نیتروژن مایع استفاده مي شود كه در یک مسیر بسته داخل پمپ می چرخند. هلیوم مایع، درجه حرارت 2/4 کلوین دارد( C 8/268-) ولی گاهي نیتروژن مایع (77کلوین) به جای آن استفاده می شود.
در این پمپ ها، به دلیل استفاده از محدوده دمایی بسیار پایین به جای واحد سلسیوس، از واحد کلوین استفاده می کنند. یادآوری می شود که هر درجه سلسیوس معادل 15/274 درجه کلوین است.
فرآیند پمپاژ همان طورکه در شکل1،نشان داده شده است در سه مرحله انجام مي شود و طي اين سه مرحله، سه مجموعه مختلف گاز متراکم می شوند:
شکل1: نمای داخلی یک پمپ سرمازا
اولین ناحیه در درجه حرارت 0K 77 نگه داشته می شود تا بخار آب و دیگر گازهای متراکم شده در این درجه حرارت را جمع آوری شوند. دومین ناحیه در درجه حرارت 0K 20-10 نگه داشته می شود و گازهایی مانند آرگون، اکسیژن و نیتروژن را متراکم می شوند و در نهایت در سومین ناحیه از یک ماده متخلخل مانند زغال چوب استفاده می شود که همانند ناحیه دوم در درجه حرارت 0K 20-10 نگهداری می شود. چرا که گازهایی مانند هیدروژن، هلیوم و نئون در چنین دمایی براحتی متراکم نمی شوند. جذب برودتی در سطوح متخلخل سرد شده به طور مؤثری چنین گازهایی را از داخل محفظه محو می کند. شکل2، نماي واقعی یک پمپ سرمازا را نشان مي دهد. مزیت این سیستم ها، عدم نیاز به حرکت و چرخش تجهیزات داخل محفظه و در نتیجه عدم نیاز به روغن کاری است که در فرآیند لایه نشانی بسیار مهم است. باید دقت کرد که این گازهای به دام افتاده، باید به طور متناوب پاک سازی شوند. این پاک سازی به شکل های مختلفی انجام می شود.
شکل2: نماي واقعی یک پمپ سرمازا
عمومی ترین آنها پمپاژ داخل پمپ سرمازا توسط یک پمپ مکانیکی می باشد. بدین صورت که در حالتی که شیر اصلی پمپ(شیر بين پمپ و محفظه خلأ) بسته است ، پمپ سرمازا را گرم می کنند و در ادامه یک گاز حامل (معمولا نیتروژن) وارد پمپ سرمازا شده و از طرف دیگر توسط پمپ چرخشی پمپاژ می شود و در نتیجه کلیه گازها و بخارات از داخل پمپ خارج می شود.
[1] Cold head
منبع : کتاب مبانی لایه نشانی و آنالیز نانو ساختار تالیف آقای جهانبخش مشایخی، انتشارات مرکز نشر دانشگاهی
Movie
«
«
Site Statistics
«
كاربران آنلاين:
بازدید امروز:
بازديد ديروز:
بازديد هفته گذشته:
بازديد ماه گذشته:
بازدید کل:
بیشترین بازدید:
منبع علمی: کتاب مبانی لایه نشانی و آنالیز نانوساختار تالیف آقای جهانبخش مشایخی کلیه حقوق مادی و معنوی متعلق به Thin film science می باشد.