DIFFUSION PUMP

پمپ پخشی

پمپ پخشی، از جمله پمپ هایی است که برای خلأ بالا تا محدوده ^6-10 پاسكال و حتي بالاتر مورد استفاده قرار می گیرد. همان طور که به صورت شماتیک در شکل1، مشاهده می شود، روغن در پایین ترین محل و روی یک هیتر جوشانده می شود. مولکول های بخار به سمت بالا حرکت کرده و از طریق دهانه شیپوره ها، با سرعت زیاد به سمت پایین حرکت کرده و در این عمل جریان رو به پایین روغن به طور مؤثری مولکول های گاز را به دام انداخته و در نهایت آنها را از طریق یک پمپ مکانیکی به بیرون می راند. روغن پمپ باید به گونه ای باشد که مولکول های حاصل از بخار آن، بتوانند اندازه حرکت قابل قبولی به مولکول های گاز وارد نمایند از طرفی دیگر سیال در مقابل اکسیداسیون باید مقاوم باشد و همچنین دارای فشار بخار خیلی کمی در دمای اتاق باشد. در بین سیالات مختلف، روغن های سیلیکونی متداول ترین اند. شكل 2،نيز نماي واقعی یک پمپ پخشی ساخت شركت Leybold را نشان مي دهد.

شکل1: نمای شماتیک از بخش های مختلف یک پمپ پخشی

شکل2:نماي واقعی یک پمپ پخشی راست) شیپوره هاي پمپ چپ) نماي بيروني پمپ پخشي

مزيت عمده اين پمپ ها ساختار بسيار ساده و هوشمندانه آن است به گونه اي كه در صورت بروز خرابي در چنين پمپ هايي به راحتي مي توان آنها را تعميركرد. همچنین هزينه نگهداري اين پمپ ها نيز نسبت به ديگر پمپ هاي خلأ بالا بسيار كمتر است. عيب مهم آن نیز به روغني بودن آن بر مي گردد كه در نهايت موجب مي شود فرآيند خلأ مورد نياز به واسطه عبور بخار روغن از طريق شير اصلي به داخل محفظه، ايده آل نباشد و در نتيجه براي كارهاي بسيار حساس و تميز از اين پمپ ها استفاده نشود.

منبع : کتاب مبانی لایه نشانی و آنالیز نانو ساختار تالیف آقای جهانبخش مشایخی، انتشارات مرکز نشر دانشگاهی

DIFFUSION PUMP

فیلم آموزشی در مورد پمپ دیفیوژن