Gauges history

فیلمها و مطالب آموزشی

Surface and Thin Film Analysis

The interaction particles& thin layer

The interaction X Ray with thin layer

The interaction   Light with thin layer

SEM: Scanning Electron Microscopy

TEM:Transmission Electron Microscopy

SPM : Scanning probe   Microscopy

AFM : Atomic   Force    Microscopy

STM : Scanning Tunneling Microscopy

Sims: Secondary ion mass Spectroscopy

RBS: Rutherford Backscattering Spectroscopy

XRD:      X_Ray Diffraction

XPS: X_Ray Photoelectron

Spectrophotometer

Ellipsometry

Thin film Structure

Electron_Beam Gun

Resistant Evaporation

Sputtering

PLD : Pulse Lasr Deposition

MBE: Molecular Beam Epitaxy

Chemical Deposition CVD

Chemical Deposition PECVD

Chemical Deposition MOCVD

Vacuum      About

Rotary           Pump

Turbomolecular   Pump

Cryojenic           Pump

Diffusion            Pump

The barometer History

Low vacuum range gauge


Thickness Monitoring

مانومترها
احتمالاً اولین آزمایش خلأ در سال 1641 توسط Gasparo Berti و به وسیله بارومتر آبی اجرا گردید و احتمالا همین آزمایش شروعی بود برای استفاده از خلأ و قدم نهادن بشر در این حوزه حیاتی.
در ابتدا اندازه گیری فشار بر اساس مقدار جابجایی یک مایع محاسبه می شد. بدین ترتیب که برای یک مایع با چگالیρ و با جابجایی h ، فشار حاصل از این جابجایی با رابطه p = ρgh بدست می آمد. متداول ترین مایع های مورد استفاده، آب و جیوه بودند.
اما معمولا به جای آب، از جیوه استفاده می شد. زیرا چگالی جیوه بیشتر از آب بوده و در نتیجه نیاز به مانومتر کوچکتر داشت. همان گونه که در شکل1 مشاهده می شود در صورتی که به آب داخل ظرف فشار یک اتمسفر وارد شود، آب تا ارتفاع 321/10 میلیمتر بالا می رود در حالي که اگر به جای آب، از جیوه استفاده کنیم با توجه به اینکه جیوه 58/13 بار سنگین تر از آب است ارتفاع ستون آن هم، 58/13 بار کوچکتر است و در نتیجه طبق رابطه زیر در فشار یک اتمسفر، جیوه به اندازه 760 میلیمتر بالا می رود.

شکل1: فشارسنج مایع

در ادامه مانومترU شکل مورد استفاده قرار گرفت که مطابق شکل2، شامل یک لوله U شکل می باشد که حاوی مایع(معمولاً جیوه و یا روغن) بوده که از یک طرف فشار اتمسفری و از طرف دیگر فشار پایین، بر آن وارد می شود.

شکل2: مانومتر مایع

در این حالت با نوشتن شرایط تعادلی بین دو طرف مانومتر داریم:

P_a = P₀ +ρgh

که در آن ρ چگالی مایع و g شتاب ثقل مایع استفاده شده در مانومتر است. بدین ترتیب با مشخص بودن و ارتفاعh ، فشار در ناحیه مورد نظر بدست می آید.

هر چند مانومترها در اشکال مختلف ساخته و مورد استفاده قرار مي گرفتند، اما به دليل آنكه، چگالی و مقدار گرانش مایع در مکان های مختلف متفاوت است، در نتیجه، این نوع فشارسنج ها نمی توانستند تعریف دقیقی از فشار را ارائه دهند. با این وجود فشار سنج های مانومتری هنوز در موارد بسیاری از جمله گرفتن فشار خون(ميلیمتر جیوه) مورد استفاده قرار می گیرند.

منبع : کتاب مبانی لایه نشانی و آنالیز نانو ساختار تالیف آقای جهانبخش مشایخی، انتشارات مرکز نشر دانشگاهی