TURBOMOLECULAR PUMP

پمپ توربومولکولار

یکی دیگر از متداول ترین پمپ های خلأ بالا پمپ های توربومولکولار می باشند كه امروزه، تقريباً به صورت بارزي جايگزين پمپ هاي پخشي در بسياري از سامانه هاي خلأ شده اند. اين پمپ علاوه بر سرعت پمپاژ بالا، به دليل عدم استفاده از روغن، بسيار تميز و در عين حال بسيار حساس مي باشد.
شكل1 نمونه اي از اين پمپ ها در اندازه های مختلف (ساخت شركت واريان) را نشان مي دهد. در این پمپ ها، همان طور که در شکل 2، نشان داده شده است از یک سری پره های چرخان به عنوان روتور و یک سری پره های ایستا به نام استاتور استفاده می شود که بصورت متوالی و زوجی، گاهي در مجموعه های10تایی و کاملاً شبیه موتور جت توربین قرار گرفته اند. روتورها بوسیله یک موتور داخل پمپ تا سرعت های بیش از rpm 27000 می چرخند. وظیفه این پره ها انتقال اندازه حرکت به مولکول های گاز می باشد.

شکل1: نمايي از پمپ های مختلف توربومولكولار

اگر مسیر پویش آزاد میانگین مولکولی (MFP) ذرات بیشتر از فاصله بین روتور و استاتور باشد برخورد ذرات به پره های روتور نسبت به برخوردهای بین مولکولی بيشينه شده و در نتیجه سرعت پمپ بیشتر می شود. در نتیجه یک جریان بسیار متراكم از مولکول های گاز را موجب می شوند. اندازه این پمپ ها کوچک بوده و همیشه برای انجام فرآیند پمپاژ محفظه نیاز به یک پمپ زبر دارند. این پمپ ها برای سیستم های کندوپاش که در آن مقادیر زیاد گاز به کار رفته به پمپ های پخشی آسیب می رساند، بسیار مناسب اند. میزان خلأ این پمپ ها مانند پمپ های پخشی می باشد و تا 6-10 پاسكال می رسد. همچنین دارای سرعتی بین 1/s 50 تا 1/s 3500 می باشند.

شکل2: نمای شماتيك از الف )چگونگي حركت پره ها در پمپ توربو مولکولار ب) شكل پره های یک پمپ توربو مولکولار

منبع : کتاب مبانی لایه نشانی و آنالیز نانو ساختار تالیف آقای جهانبخش مشایخی، انتشارات مرکز نشر دانشگاهی

TURBOMOLECULAR PUMP

فیلم آموزشی در موردپمپ های توربومولکولار